Áø°øÀåºñÀÇ °æ¿ì
´ë±â»óÅ¿¡¼ Áø°ø»óÅ·Πµ¹ÀÔÇÒ¶§ ¿¬¹« Çö»óÀ̶ó°í ÇÏ¿©
»Ñ¿¸°Ô µÇ´Â Çö»óÀÌ Àִµ¥
ÀÌ ¿¬¹«Çö»óÀº ¿Ö »ý±â´Â°ÅÁÒ?
°ø±âÁß¿¡ ¼öºÐ¶§¹®¿¡ »ý±â´Â°Ç°¡¿ä?
±×·¸´Ù¸é ¾È¿¡ ¹°ÀÌ Á¶±Ý ¶³¾îÁ®ÀÖ´Ù¸é ¿¬¹«Çö»óÀÌ ´õ ½ÉÇÏ°Ô ¹ß»ýÇÒ¼ö Àִ°ǰ¡¿ä?
±×¸®°í Ȥ½Ã ÀÌ ¿¬¹«Çö»óÀ¸·Î ÀÎÇØ ±¤¼¾¼ÀÇ ¿ÀÀÛµ¿µµ ÀÖÀ»¼ö Àִ°ÅÁÒ? | |
|
-. Chamber ³»ºÎÀÇ »óÅ°¡ ¾î¶°ÇÏ°í Pumping Speed ´É·ÂÀÌ ¾î¶°ÇÑÁö¿¡ µû¶ó¼ ´Ù¸¦ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
(Pumping Sequence¸¦ º¯°æÇÏ´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖ½À´Ï´Ù.)
-. Çϵå¿þ¾îÀûÀ¸·Î ¿Àµ¿ÀÛÀ» ¹æÁö ÇÒ ¼ö ¾ø´Â »óȲ°ú ¹°Ã¼°¡ À̵¿ÇÏÁö ¾Ê´Â °æ¿ì¿¡ ´ëÇؼ¸¸
´äº¯À» µå¸®°Ú½À´Ï´Ù. ±× ÀÌÀ¯´Â ¿¬¹« Çö»óÀÌ ÀÌ·¯³ª´Â ¾Ð·Â ¹üÀ§ ³»¿¡¼´Â ±Þ°ÝÇÑ ¾Ð·Â º¯È¿¡ ÀÇÇؼ
º°µµ·Î °íÁ¤À»Çϰųª ¹°Ã¼¸¦ ¿òÁ÷ÀÌ´Â ÇൿÀ» Àß ÇÏÁö ¾Ê±â ‹š¹®À̶ó´Â »ý°¢¿¡¼ÀÇ ´äº¯ÀÔ´Ï´Ù.
-. ¿Àµ¿ÀÛÀÌ ¹ß»ý µÉ °æ¿ì »óȲ
Çϵå¿þ¾îÀûÀ¸·Î Â÷´Ü ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¸Á¶ÀÎÁö (View Port µîÀÇ À§Ä¡³ª ±¸Á¶Àû Ư¼º È®ÀÎ ÇÊ¿ä)
Çϵå¿þ¾îÀûÀ¸·Î Â÷´Ü ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¸Á¶´Â Á¦°¡ »óÅ ¹× ±¸Á¶¸¦ ¸ð¸£¹Ç·Î È®ÀÎÀº Èûµì´Ï´Ù.
Çϵå¿þ¾îÀûÀ¸·Î Â÷´Ü ÇÒ ¼ö ¾ø´Â ±¸Á¶ÀÎÁö
Çϵå¿þ¾îÀûÀ¸·Î Â÷´Ü ÇÒ ¼ö ¾ø´Â±¸Á¶¿¡¼ÀÇ È®ÀÎÀÌ ÇÊ¿äÇÑ »çÇ׿¡ ´ëÇؼ ¾Ë·Á µå¸®°Ú½À´Ï´Ù.
¿¬¹« Çö»óÀÌ SensorÀÇ ¿Àµ¿ÀÛÀ» ÀÏÀ¸Å²´Ù´Â »óȲ¿¡¼ÀÇ ´äº¯ÀÔ´Ï´Ù.
PumpingÁß¿¡¼ÀÇ(¿¬¹« Çö»ó ¹ß»ý ½Ã) SensorÀÇ °¨Áö°¡ Àǹ̰¡ ÀÖ´ÂÁö È®ÀÎÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù.
¹«½¼ ¿ëµµÀÇ SensorÀÎÁö´Â ¸ð¸£°ÚÀ¸³ª, Glass³ª ƯÁ¤ ¹°Ã¼¸¦ °¨ÁöÇÏ´Â °ÍÀ̶ó¸é
¹°Ã¼°¡ Á¤Áö µÈ »óÅ¿¡¼ÀÇ ¿Àµ¿ÀÛÀ̶ó¸é ¿¹¿Üó¸® ÇÏ´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ·² °æ¿ì SoftwareÀûÀ¸·Î PressureÀÇ ¿µ¿ªÀ» ÆÇ´ÜÇÏ¿© (¿¬¹« Çö»óÀÌ »ý±âÁö ¾Ê´Â ¾Ð·Â ¹üÀ§)
¿Àµ¿ÀÛÀÌ ¹ß»ýµÇ´Â ±¸°£À» ÀνÄÇÏÁö ¾Êµµ·Ï º¯°æ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¸é ¹®Á¦¸¦ ÇØ°á ÇÒ ¼ö ÀÖÀ»¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù.
¹°Ã¼°¡ À̵¿ÇÏ°í ÀÖ´Â »óÅÂÀÇ ¿Àµ¿ÀÛÀ̶ó¸é ±¸Á¶ÀûÀ¸·Î Á¢±ÙÇØ¾ß ÇϹǷΠÀÚü ÆÇ´ÜÀº ¾î·Æ½À´Ï´Ù.
-. ±×¸®°í Sensor¿Í AMP¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿Àµ¿ÀÛÀ» ÇØ°áÇÏ°íÀÚ ÇÒ °æ¿ì
Sensor¿Í AMPÀÇ »ç¾ç°ú ¿ëµµ¸¦ Á¤È®ÇÏ°Ô È®ÀÎÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
1. Sensor Detecting Range (°Å¸®)
2. Sensor Spot & AMP Potential
3. Detecting Conecept (Dark On / Light On)
4. °¨ÁöÇÏ·Á´Â ¹°Ã¼¿Í Ç¥¸é ÀçÁú
ÀûÀýÇÑ °Å¸®¿¡ ÃæºÐÇÑ ±¤·®À¸·Î ¿¬¹« Çö»óÀÇ °£¼· ¹üÀ§¸¦ Ä¿¹ö ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¤·® ¹üÀ§¸¦ È®ÀÎ ÈÄ
Àû¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ã´Â°Íµµ ÀÖ½À´Ï´Ù.