º¼Æ® euv ÈÀÌÆ® »ö»óÀ¸·Î ·¹µå¶óÀÎ, ³×ºñ Æ÷ÇÔÀ¸·Î °ßÀû ºÎŹµå¸³´Ï´Ù. µô·¯ ¼ºñ½º¿Í ÆäÀÌ¹é ¿©ºÎ°¡ ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.