Á¤¸í±Ù °æ±âµµ ȼº½ÃÀåÀÌ ASMLÀÇ 'ȼº ´º Ä·ÆÛ½º'¸¦ ±â¾÷-Áö¿ªÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ »ó»ý »ç·Ê·Î ¸¸µé°Ú´Ù´Â ÀÇÁö¸¦ ¹àÇû´Ù.
Á¤ ½ÃÀåÀº 29ÀÏ ASML °ü°èÀÚµé°ú ÇÔ²² ȼº µ¿Åº2½Åµµ½Ã ¼Ûµ¿ ÀÏ¿ø¿¡ Á¶¼º ÁßÀÎ ASML 'ȼº ´º Ä·ÆÛ½º' ÇöÀåÀ» ¹æ¹®ÇÑ ÀÚ¸®¿¡¼ ÀÌ°°ÀÌ ¹àÇû´Ù.
'ȼº ´º Ä·ÆÛ½º'´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ¸¦ Àü¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô °ø±ÞÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÐ¾ß ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÎ ASMLÀÌ Áö³ÇغÎÅÍ Áþ°í ÀÖ´Â Çѱ¹¹ýÀÎ ½Å»ç¿ÁÀÌ´Ù. »ç¿ÁÀº ÁöÇÏ 4Ãþ~Áö»ó 11Ãþ 2°³ µ¿, ¿¬¸éÀû 7¸¸4418§³ ±Ô¸ð´Ù. ASMLÀº ±â°ø½Ä¿¡¼ ÀÌ Ä·ÆÛ½º¿¡ °æ¿µ¼¾ÅÍ, ÀçÁ¦Á¶ ¼¾ÅÍ, ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ, üÇè°ü µîÀ» °®Ãß°Ú´Ù´Â °èȹÀ» ¹ßÇ¥Çß¾ú´Ù.
À̳¯ Á¤ ½ÃÀåÀÇ ÇöÀå ¹æ¹®Àº ³»³â 8¿ù ÁØ°ø ¿¹Á¤ÀÎ Ä·ÆÛ½º °ø»ç ÁøÇà ÇöȲ°ú ½Å±ÔÅõÀÚ ºÎÁö¿¡ ´ëÇÑ Á¡°Ë Â÷¿ø¿¡¼ ÀÌ·ïÁ³´Ù.
ƯÈ÷ ÇöÀå ¹æ¹®¿¡¼ ASMLÀº Áö¿ª ÁֹΰúÀÇ »ó»ýÇù·Â ¹æ¾ÈÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ASML Á¶¼º ºÎÁö ÀÏ¿ø¿¡ 'µÑ·¹±æ Á¶¼º'À» Á¦¾ÈÇß´Ù. ASMLÀº ȼºÁö¿ª Ãë¾à°èÃþÀ» À§ÇÑ ÈÄ¿ø±Ý Àü´Þ ¹× ¾Æµ¿¾çÀ°½Ã¼³ »ýȰȯ°æ °³¼± ºÀ»çÈ°µ¿, ¹æ±³ÃʵîÇб³ ÇлýµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÇÑ ÄÚµù ±³À° ÇÁ·Î±×·¥ Á¦°ø, ¼ÇØ¾È ¹Ù´ÙÁ¤È È°µ¿ µî Áö¿ª»çȸ¿Í ÇÔ²²ÇÏ´Â È°¹ßÇÑ »çȸ°øÇåÈ°µ¿µµ À̾°í ÀÖ´Ù.
Á¤ ½ÃÀåÀº "ASMLÀÌ È¼º½Ã¿¡ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î Á¤ÂøÇØ ±â¾÷°ú Áö¿ªÀÇ ¸ð¹üÀûÀÎ »ó»ýÇù·Â »ç·Ê°¡ µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï µÑ·¹±æ Á¶¼º µî¿¡ ÇàÁ¤Àû Áö¿øÀ» ¾Æ³¢Áö ¾Ê°Ú´Ù°í ¸»Çß´Ù. Á¤ ½ÃÀåÀº ¶Ç "ASML ½Å±Ô ÅõÀÚ»ç¾÷ ¶§ ȼº½Ã¿¡ ´ëÇÑ Áö¼ÓÀûÀÎ °ü½É°ú ÅõÀÚ¸¦ ¹Ù¶õ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÇÑÆí ȼº½Ã´Â ¹Î¼± 8±â ÇÙ½É °ø¾àÀÎ 20Á¶¿ø ÅõÀÚ À¯Ä¡ ´Þ¼ºÀ» À§ÇØ Áö³ 7¿ù '´ë±Ô¸ð ÅõÀÚÀ¯Ä¡ Áö¿ø ŽºÅ©Æ÷½º(TF) ÆÀ'À» Ãâ¹ü½ÃÅ°±âµµ Çß´Ù. ½Ã¿¡ µû¸£¸é ¹Î¼±8±â Àü¹Ý±â µ¿¾È ÅõÀÚ À¯Ä¡ ½ÇÀûÀº 10Á¶8¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î Áý°èµÆ´Ù.
Á¤µÎȯ ±âÀÚ dhjung69@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |