±¹³» ¹ÝµµÃ¼ °æÀï·Â °È ±â´ë°¨
ÀϺ» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±â¾÷ JSR°¡ 12ÀÏ ÃæºÏ ûÁÖ¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ ¸ÞÅ»Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê°øÀå ±â°ø½ÄÀ» ¿¾ú´Ù.
1957³â ¼³¸³ÇÑ JSR´Â ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ºÐ¾ß ½ÃÀå Á¡À¯À² ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÌ´Ù.
±¹³»¿¡´Â 2003³â ÃæºÏ ¿Àâ °øÀåÀ» ¼³¸³ÇØ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡ óÀ½ ÁøÃâÇÑ ÀÌ·¡ ²ÙÁØÈ÷ ÅõÀÚ¸¦ È®´ëÇØ¿Ô´Ù.
Àü ¼¼°è ±â¾÷ Áß Çѱ¹¿¡ EUV °øÁ¤¿ë ¸ÞÅ»Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê°ÅÁ¡À» ±¸ÃàÇÏ´Â °ÍÀº JSR°¡ óÀ½ÀÌ´Ù.
2026³â±îÁö ¿Ï°øÇØ ¸ÞÅ»Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ¾ç»êÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏ Çü¼ºÀ» À§ÇØ µµÆ÷ÇÏ´Â ¹°ÁúÀÌ´Ù.
EUV ¸ÞÅ»Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Àú»ç¾ç ÈÇÐÁõÆøÇü Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ´ëüÇϴ ÷´ÜÁ¦Ç°À¸·Î, ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±â¾÷µéÀÌ ¿ª·®À» ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ °æÀï·ÂÀ» Á¿ìÇÏ´Â ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù.
JSR °øÀåÀÌ ÁØ°øµÇ¸é ±¹³»±â¾÷ ¼ö¿ä¿¡ Àû±â¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °æÀï·Â °È¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
À̳¯ ±â°ø½Ä¿¡ Âü¼®ÇÑ ±è´ëÀÚ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ ¹«¿ªÅõÀÚ½ÇÀåÀº Ãà»ç¿¡¼ ¡°JSRÀÇ À̹ø ÅõÀÚ°¡ ¼º°øÀûÀ¸·Î ÀÌÇàµÇ°í Ãß°¡ ÅõÀÚ·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃæºÏ¡¤Ã»ÁÖ½Ã¿Í ÇÔ²² ÃÑ·Â Áö¿øÇØ ³ª°¥ °èȹ¡±À̶ó¸ç ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ÷´Ü»ê¾÷ Áß½ÉÀÇ ±Û·Î¹ú ºñÁî´Ï½º °ÅÁ¡À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Á¤Ã¥Àû ³ë·ÂÀ» ´ÙÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌÁø°æ ±âÀÚ ljin@segye.com
<º» ÄÜÅÙÃ÷ÀÇ ÀúÀÛ±Ç ¹× ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ¼¼°èÀϺ¸(www.segye.com)¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, »Ë»Ñ´Â Á¦ÈÞ¸¦ ÅëÇØ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.>