⸳ÃÑȸ °³ÃÖ
| ÇÑÈÀδõ½ºÆ®¸®¾ó¼Ö·ç¼ÇÁî°¡ 2ÀÏ ´õÇöóÀÚ È£ÅÚ¿¡¼ ⸳ÃÑȸ¸¦ °³ÃÖÇß´Ù. ¾È¼øÈ« ´ëÇ¥ÀÌ»ç(ÁÂÃø¿¡¼ ¼¼ ¹ø°)¿Í ±â¾÷ ÁÖ¿ä Àλ簡 ±â³ä»çÁøÀ» ÃÔ¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. /ÇÑÈ |
[´õÆÑÆ®¤ÓÃÖÀÇÁ¾ ±âÀÚ] ÇÑÈ¿¡¾î·Î½ºÆäÀ̽º¿¡¼ ÀÎÀû ºÐÇÒÇØ ÇÑȱ׷ì Àδõ½ºÆ®¸®¾ó ¼Ö·ç¼Ç »ç¾÷À» À̲ø ÁöÁÖ»ç ÇÑÈÀδõ½ºÆ®¸®¾ó¼Ö·ç¼ÇÁî°¡ 2ÀÏ °ø½Ä Ãâ¹üÇß´Ù. ÇÑÈÀδõ½ºÆ®¸®¾ó¼Ö·ç¼ÇÁî´Â À̳¯ ¼¿ï Áß±¸ ´õ ÇöóÀÚ È£ÅÚ¿¡¼ ⸳ÃÑȸ¸¦ ¿°í °ø½Ä Ãâ¹üÇß´Ù°í 2ÀÏ ¹àÇû´Ù. ½Å¼³ ¹ýÀΠ⸳»çÇ× º¸°í¿Í ÀÌ»çȸ ÀÇÀå ¹× ´ëÇ¥ÀÌ»ç ¼±ÀÓ, »ç±Ô Á¦Á¤ µî ÁÖ¿ä ¾È°ÇÀÌ ÀÇ°áµÆ´Ù. ÇÑÈÀδõ½ºÆ®¸®¾ó¼Ö·ç¼ÇÁî´Â ÇÑÈ¿¡¾î·Î½ºÆäÀ̽º¿¡¼ ½ÃÅ¥¸®Æ¼¿Í Ĩ¸¶¿îÅÍ, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ µî »ç¾÷ ºÎ¹®À» À̲ø Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÇÑȺñÀü°ú ÇÑÈÁ¤¹Ð±â°è¸¦ 100% ÀÚȸ»ç·Î µÎ¸ç ÇÑȺñÀü ¾È¼øÈ« ´ëÇ¥°¡ ´ëÇ¥ÀÌ»ç¿Í ÀÌ»çȸ ÀÇÀåÀ» °âÀÓÇÑ´Ù. µÎ ȸ»ç´Â ¾ÕÀ¸·Î µ¶ÀÚ °æ¿µÀ¸·Î ½Å¼ÓÇÏ°í Àü¹®ÀûÀÎ ÀÇ»ç°áÁ¤ ü°è¸¦ ±¸ÃàÇØ °æ¿µ È¿À²¼º°ú ±â¾÷°¡Ä¡¸¦ ±Ø´ëÈÇÑ´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù. 1990³âºÎÅÍ ¿µ»óº¸¾È »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇÑ ÇÑȺñÀüÀº °ß°íÇÑ ±Û·Î¹ú ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ±¸ÃàÇÑ´Ù´Â ÀÔÀåÀÌ´Ù. ÀΰøÁö´É(AI) Ŭ¶ó¿ìµå µî Â÷¼¼´ë ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ ¿µ»óº¸¾È ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î »ç¾÷ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ È®ÀåÇÏ´Â ÇÑȺñÀüÀº À¯Åë°ú µµ½Ã ¾ÈÀü, Á¦Á¶ µî ÁÖ¿ä »ê¾÷¿¡ ƯÈÇÑ ½º¸¶Æ® ¼Ö·ç¼ÇÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ±Û·Î¹ú ½ÃÀå ¸®´õ½ÊÀ» °ø°íÈ÷ ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. Áö³ 1989³â Çѱ¹ ÃÖÃÊ SMT Ĩ¸¶¿îÅÍ »ç¾÷À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ÀüÈÄ°øÁ¤ Àåºñ¿Í °øÀÛ±â°è Á¦Á¶Àåºñ Àü¹ÝÀ» ¾Æ¿ì¸£´Â Á¦Á¶Àåºñ ¼Ö·ç¼Ç ±â¾÷ÀÎ ÇÑÈÁ¤¹Ð±â°è´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¤°øÁ¤ Àåºñ PECVD(ÇöóÁ °È ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø)°ú ALD(¿øÀÚÃþÁõÂø)¸¦ °³¹ßÇß´Ù. AI½Ã´ë¸¦ À̲ø HBM(°í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®¿ë) ½Å°øÁ¤ Àåºñ ÇÏÀ̺긮µå º»´õ °³¹ßÀ» º»°Ý ÃßÁøÇØ ¹Ì·¡ ½ÃÀå °æÀï·Â È®º¸¿¡ ³ª¼³ °èȹÀÌ´Ù. ÇÑÈÀδõ½ºÆ®¸®¾ó¼Ö·ç¼ÇÁî´Â ¿À´Â 27ÀÏ Àç»óÀåÇØ ³»³â 1¿ù 1ÀÏ ÇÑȺñÀü°ú ÇÕº´ÇØ »ç¾÷ ÁöÁÖ»ç·Î °Åµì³¯ °èȹÀÌ´Ù. ¾È¼øÈ« ÇÑÈÀδõ½ºÆ®¸®¾ó¼Ö·ç¼ÇÁî ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "Â÷º°ÈµÈ ±â¼ú·Â°ú ±Û·Î¹ú °æÀï·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇÏ°í °í°´¿¡°Ô ´õ Å« °¡Ä¡¸¦ Á¦°øÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù. bell@tf.co.kr |