±Û·Î¹ú ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê(CNT) ¼±µµ¾÷ü Á¦ÀÌ¿À°¡ °¼¼´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Çõ½ÅÀ» À̲ø±â À§ÇÑ Â÷¼¼´ë ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ縮Ŭ¿ë CNT ¸âºê·¹ÀÎ ±â¼ú °³¹ßÀ» º»°ÝÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇÑ´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÁÖ°¡¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
7ÀÏ ¿ÀÈÄ 1½Ã36ºÐ Á¦ÀÌ¿À´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 9.15% ¿À¸¥ 1¸¸9450¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
Á¦ÀÌ¿À´Â Áö³ 4ÀÏ ³ª³ëÀ¶ÇÕ»ê¾÷¿¬±¸Á¶ÇÕÀÌ ÃÑ°ýÇÏ´Â EUV Æ縮Ŭ¿ë ¡®Åº¼Ò³ª³ëÆ©ºê ¸âºê·¹ÀÎ Á¦Á¶±â¼ú °³¹ß¡¯ °úÁ¦¿¡ ¼¼ºÎ ÁÖ°ü±â°üÀ¸·Î¼ Çù¾àÀ» ¿Ï·áÇß´Ù. ÇØ´ç °úÁ¦¿¡´Â Á¦ÀÌ¿À ¿Ü¿¡µµ Æ縮Ŭ Àü¹®±â¾÷ÀÎ ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼¿Í ´õºÒ¾î ÇѾç´ëÇб³, Æ÷½ºÅØ, ÀÎÇÏ´ë µîÀÌ Âü¿©ÇØ CNT ¸âºê·¹ÀÎÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë EUV Æ縮Ŭ °³¹ß ¹× »ç¾÷È¿¡ Çù·ÂÇÑ´Ù.
Á¦ÀÌ¿À´Â ¾÷¹« Çù¾àÀ» ÅëÇØ 2027³â±îÁö ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß EUV Æ縮Ŭ¿ë CNT¸¦ °³¹ßÇÏ¸ç »êÇÐÇù·Â ¿¬±¸ °úÁ¦¸¦ ¼öÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¿¬±¸ °úÁ¦´Â ¡ãÂ÷¼¼´ë Æ縮Ŭ ¼ÒÀç ¡ã°Ç½Ä °øÁ¤À» ÅëÇÑ CNT ¸âºê·¹ÀÎ °øÁ¤ ¡ãCNT ¸âºê·¹ÀÎ Ç÷¹¾î ºÐ¼® Æò°¡ µîÀ» À§ÇÑ ¼¼ºÎ ±â¼ú È®º¸·Î ±¸¼ºµÈ´Ù.
Æ縮ŬÀº EUV°øÁ¤¿¡¼ ȸ·Î¸¦ »õ°Ü ³Ö´Â ÆÇÀÎ Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ À̹°Áú·ÎºÎÅÍ º¸È£ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. EUV °øÁ¤Àº ±¤Åõ°ú¸¦ ÅëÇØ ³ë±¤À» ÁøÇàÇϴµ¥, ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ °øÁ¤ ¼Õ½Ç°ú ´õºÒ¾î ±¤ÀÌ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ´ê´Â °úÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â ÆÄƼŬ(À̹°Áú)¿¡ ÀÇÇÑ ¸¶½ºÅ© ¼Õ»óÀ» ÃÖ¼ÒÈÇØ Á¦Ç°ÀÇ ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. Æ縮ŬÀº EUV°øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ°À¸·Î °³´ç °¡°ÝÀÌ ¼öõ¸¸¿ø¿¡¼ ºñ½Î°Ô´Â 1¾ï¿ø¿¡ À°¹ÚÇÏ´Â °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°À¸·Î Æò°¡¹Þ´Â´Ù.
Á¦ÀÌ¿À´Â 20³â µ¿¾È CNT °³¹ßÀ» ÅëÇØ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ CNT °³¹ß ±â¼ú·ÂÀ» °®Ãá ±â¾÷ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿ë EUV Æ縮Ŭ ¿¬±¸°úÁ¦¸¦ ÅëÇØ ÀÌÂ÷ÀüÁö¿ë µµÀüÀç CNT¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼±îÁö »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» ³ÐÈú °èȹÀÌ´Ù. Á¦ÀÌ¿À´Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Çõ½Å ¼ÒÀç±â¾÷À¸·Î ½ÃÀå ³» ÁöÀ§¸¦ ´õ¿í °ø°íÈ÷ ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ parkhs@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |