±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷¿¡ MOR Àû±â °ø±Þ¡¦°æÀï·Â °È
| 12ÀÏ ÃæºÏ ûÁÖ¿¡¼ JSRÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ ¸ÞÅ»Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(MOR) »ý»ê°øÀå ±â°øÇß´Ù. »çÁøÀº »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ °øÀå ³»ºÎ ¸ð½À. /»ï¼ºÀüÀÚ |
[´õÆÑÆ®¤Ó¼¼Á¾=¹Úº´¸³ ±âÀÚ] »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ´Â 12ÀÏ ÃæºÏ ûÁÖ¿¡¼ JSRÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ ¸ÞÅ»Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(MOR) »ý»ê°øÀå ±â°ø½ÄÀÌ ¿·È´Ù°í ¹àÇû´Ù. À̳¯ ±â°ø½ÄÀ» ÅëÇØ JSRÀº ±âÁ¸¿¡ ±¹³»¿¡ ¿î¿µ ÁßÀÎ µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ç¾÷¿¡ À̾î, ¼¼°è ±â¾÷ Áß ÃÖÃÊ·Î ¹ÝµµÃ¼ EUV °øÁ¤¿ë MOR »ý»ê°ÅÁ¡À» Çѱ¹¿¡ ±¸ÃàÇß´Ù. ƯÈ÷ À̹ø ÅõÀÚ ´ë»óÀÎ EUV MOR´Â ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Àú»ç¾ç ÈÇÐÁõÆøÇü Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ´ëüÇϴ ÷´ÜÁ¦Ç°À¸·Î ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±â¾÷µéÀÌ ¿ª·®À» ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ °æÀï·ÂÀ» Á¿ìÇÏ´Â ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. JSRÀº 2026³â±îÁö »ý»ê±â¹Ý ±¸ÃàÀ» ¿Ï·áÇÏ°í MOR¸¦ ¾ç»êÇÒ °èȹÀ̸ç À̸¦ ÅëÇØ ±¹³»±â¾÷ ¼ö¿ä¿¡ Àû±â ´ëÀÀÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °æÀï·Â °È¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î »ê¾÷ºÎ´Â º¸°í ÀÖ´Ù. 19578³â ¼³¸³ÇÑ JSRÀº ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ºÐ¾ß ½ÃÀå Á¡À¯À² ¼¼°è 1À§¸¦ ±â·ÏÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±¹³»¿¡´Â 2003³â ÃæºÏ ¿Àâ °øÀåÀ» ¸¶·ÃÇØ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡ óÀ½ ÁøÃâÇÑ ÀÌ·¡ ²ÙÁØÈ÷ ÅõÀÚ¸¦ È®´ëÇØ ¿Ô´Ù. ±è´ëÀÚ »ê¾÷ºÎ ¹«¿ªÅõÀÚ½ÇÀåÀº "JSRÀÇ À̹ø ÅõÀÚ°¡ ¼º°øÀûÀ¸·Î ÀÌÇàµÇ°í Ãß°¡ ÅõÀÚ·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃæºÏµµ, ûÁÖ½Ã¿Í ÇÔ²² ÃÑ·Â Áö¿øÇØ ³ª°¥ °èȹ"À̶ó¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ÷´Ü»ê¾÷ Áß½ÉÀÇ ±Û·Î¹ú ºñÁî´Ï½º °ÅÁ¡À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±è ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Á¤Ã¥Àû ³ë·ÂÀ» ´ÙÇÏ°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù. riby@tf.co.kr |