[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ±èºÀ¼ö ±âÀÚ] ±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ ¡®Á¦·Î¿¡³ÊÁö ºôµù¡¯ ½ÇÇöÀ» À§ÇÑ ½º¸¶Æ®À©µµ¿ì ¼ÒÀç·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Â ÀÌ»êȹٳªµãÀÇ »ó¿ëȸ¦ À§ÇÑ ±æÀ» ÅÕ´Ù. ¡®°Å´ë Çö¹Ì°æ¡¯ÀÎ ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ È°¿ëÇØ ±ÕÁúÇÑ ³ª³ë°áÁ¤ »óÅ¿¡¼± ºÒ¼ø¹°À» ¼¯Áö ¾Ê¾Æµµ ¼·¾¾ 66µµ¿¡¼ ³ìÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡À» È®ÀÎÇß´Ù.
Çѱ¹±âÃÊ°úÇÐÁö¿ø¿¬±¸¿ø(KBSI)Àº ÀÌ»êȹٳªµã ³ª³ë°áÁ¤ ³»ºÎ ¹Ì¼¼±¸Á¶ º¯È¸¦ ÃÊ°íºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ½Ç½Ã°£ °üÂûÇϴµ¥ ¼º°øÇØ ¹°ÁúÀÇ ³»ºÎ ÀÀ·Â»óÅ°¡ ±Ý¼Ó-Àý¿¬Ã¼°£ ±Þ°ÝÇÑ »óº¯È Ư¼º¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀ» ¹àÇô³Â´Ù°í 17ÀÏ ¹àÇû´Ù. È«¿õ±â ¿¬±¸Àåºñ°³¹ßºÎ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀ, ¼ÕÁ¤ÀÎ µ¿±¹´ë ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀ, À̼ö¿ë Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò(PAL) ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀÇ °øµ¿ ÀÛ¾÷ °á°ú´Ù.
À̹ø ¿¬±¸ °á°ú´Â ÀÌ»êȹٳªµãÀ» ºÒ¼ø¹° µµÇο¡ ÀÇÇÏÁö ¾Ê°í ³ª³ë°áÁ¤ÀÇ ±ÕÀÏÇÑ ³»ºÎÀÀ·Â Á¶Àý¸¸À¸·Î »óº¯È ¿Âµµ³ª °áÁ¤»óÀ» Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡À» È®ÀÎÇß´Ù. ³»ºÎ ÀÀ·Â»óÅÂ¿Í ¹Ì¼¼ÇÑ °áÁ¤±¸Á¶ ¹× ±Þ¼ÓÇÑ Àü±â¡¤±¤ÇÐÀû Ư¼º º¯È »çÀÌ¿¡ ¿¬°ü °ü°è°¡ ÀÖÀ½À» ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÃÖÃÊ·Î ¹àÇô³Â´Ù.
ÀÌ»êȹٳªµãÀº ¿ÜÀûÁ¶°Ç¿¡ µû¶ó Àý¿¬Ã¼»ó¿¡¼ ±Ý¼Ó»óÀ¸·Î Àü±âÀû Ư¼ºÀÌ ¹Ù²ñ°ú µ¿½Ã¿¡ ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î Àû¿Ü¼±À» Åõ°ú½ÃÄ×´Ù°¡ Â÷´ÜÇÏ´Â »óÅ·Πº¯ÇÏ´Â ¹°ÁúÀÌ´Ù. ÃÊ°í¼Ó ½ºÀ§Äª¼ÒÀÚ, °í¼º´É¼¾¼, ¸Þ¸ð¸®¼ÒÀÚ´Â ¹°·Ð, ¿Âµµ¿¡ µû¶ó ½º½º·Î Àû¿Ü¼± Åõ°úÀ²À» Á¶Á¤ÇÏ¿© °Ç¹°ÀÇ ³Ã³¹æ ¿¡³ÊÁö¸¦ Àý°¨ÇÏ´Â ¿º¯»ö ½º¸¶Æ®À©µµ¿ì µî Â÷¼¼´ë ÇٽɼÒÀç·Î °¢±¤¹Þ°í ÀÖ´Ù.
½Ç¸®ÄÜ, ¾Ë·ç¹Ì³ª, À¯¸® µî ±âÆÇÀ§ ¹Ú¸·Çʸ§À̳ª ³ª³ë°áÁ¤ ÇüÅ·Π¸¸µé¾î Áö´Â ÀÌ»êȹٳªµãÀº ¿ÜºÎ Á¶°Ç º¯È¿¡ µû¶ó Ư¼ºÀÌ º¯ÇÏ°í, ¹°¼º Á¦¾î¿¡µµ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾î »ê¾÷Àû È°¿ë¿¡ ÇÑ°è°¡ ÀÖ¾ú´Ù. ¹°Áú ³»ºÎÀÇ ÀÀ·Â¿¡ µû¸¥ °áÁ¤±¸Á¶ º¯È¿Í »óÀüÀÌ ¹°¼ºÀÇ »ó°ü°ü°è¸¦ ¹àÈ÷°í ±× ÀÀ·ÂÀ» Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÏ´Â °ÍÀÌ °ü°ÇÀÌ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ¹°Áú ³»ºÎÀÇ ¾ÐÃà ÀÀ·Â »óŸ¦ ±ÕÀÏÇÏ°Ô Çϱâ À§ÇØ ºñÁ¤Áú »êȹ°ÀÎ »êȾ˷ç¹Ì´½(Al2O3)À» ÀÌ»êȹٳªµã ³ª³ë°áÁ¤ Ç¥¸é¿¡ ¾ã°Ô ÄÚÆÃÇØ ÄÚ¾î-½©(core-shell) ¸ð¾çÀÇ ±¸Á¶·Î Á¦ÀÛÇß´Ù. ³ª³ë°áÁ¤ ³» ¹Ì¼¼ °áÁ¤±¸Á¶ º¯È´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(1§´Â 100¸¸ºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ) Å©±âÀÇ ºö»çÀÌÁ °¡Áø 3¼¼´ë ¿øÇü ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â X¼± ÀåÄ¡(Æ÷Ç×°¡¼Ó±â PLS-II 9Cºö¶óÀÎ)·Î °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. À̹ø¿¡ È°¿ëÇÑ °¡¼Ó±â X¼±Àº ÀÏ¹Ý ½ÇÇè½Ç ¼öÁØÀÇ X¼± º¸´Ù 100¸¸¹è ´õ ¹àÀ¸¸ç, ¹Ì¼¼ÇÑ ±¸Á¶º¯È¸¦ ¾à 100¹è ÀÌ»ó ´õ ÀÚ¼¼È÷ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
À̹ø °øµ¿¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ÀÌ»êȹٳªµãÀÌ ¼·¾¾ 80~120µµ¿¡¼ ºÎºÐÀûÀÎ »óÀüÀÌ¿Í ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ °áÁ¤»óÀ» º¸¿©Áá´ø ±âÁ¸ ½ÇÇèµé°ú ´Þ¸®, ÄÚ¾î-½©(core-shell) ±¸Á¶·Î ¾ÐÃàÀÀ·ÂÀ» ±ÕÀÏÇÏ°Ô ¸¸µç ÀÌ»êȹٳªµãÀº »ó¿Â¿¡ °¡±î¿î ¼·¾¾ 66µµ ±Ùó¿¡¼ È¥ÇÕµÈ °áÁ¤»ó¾øÀÌ ±Þ¼ÓÇÑ »óÀüÀ̸¦ ÀÏÀ¸Å²´Ù´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
À̹ø ¿¬±¸ °á°ú´Â Àç·á°úÇÐºÐ¾ß ±¹Á¦ÇмúÁöÀÎ 'Applied Materials Today'Áö ¿Â¶óÀÎÆÇ¿¡ Áö³ 6ÀÏ °ÔÀçµÆ´Ù.
È«¿õ±â ¹Ú»ç´Â ¡°À̹ø ¿¬±¸´Â °í¼ÓÀ¸·Î ÀÛµ¿ÇÏ´Â ½ºÀ§Äª ÀüÀÚ¼ÒÀÚ, °í¼º´É¼¾¼, ź¼ÒÁ߸³ ½ÇÇöÀ» À§ÇÑ ¿º¯»ö ½º¸¶Æ®À©µµ¿ì µî ´Ù¾çÇÏ°Ô È°¿ëµÇ´Â »óº¯È ¹°ÁúÀÇ ¹°¼ºÁ¦¾î¿¡ ´ëÇÑ ³ª³ë¼¼°èÀÇ °úÇÐÀû Çö»óÀ» ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ ÅëÇØ ±Ô¸íÇÑ °á°ú¡±¶ó¸ç ¡°ÇâÈÄ ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ È°¿ëÇÑ °í³µµ ºÐ¼®¿ë ÀåÄ¡ ¹× ½Å¼ÒÀç °³¹ß ºÐ¾ß·Î Èļӿ¬±¸¸¦ È®´ëÇسª°¥ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù. ±èºÀ¼ö ±âÀÚ bskim@asiae.co.kr
|