±¹³»¿¡¼ ¾çÀÚÁ¡ ·¹ÀÌÀú¸¦ ´ë·® »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù. ¾çÀÚÁ¡ ·¹ÀÌÀú´Â µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ, ¾çÀÚ Åë½Å µî¿¡ ÁÖ·Î ¾²ÀδÙ. ´ë·®»ý»êÀÌ °¡´ÉÇØÁö¸é¼, »ý»ê´Ü°¡´Â ±âÁ¸º¸´Ù 1/6 ¼öÁØÀ¸·Î ´ëÆø ³·¾ÆÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù.
Çѱ¹ÀüÀÚÅë½Å¿¬±¸¿ø(ETRI)Àº º»¿ø ±¤Åë½ÅºÎÇ°¿¬±¸½ÇÀÌ À¯±âÈÇбâ»óÁõÂøÀåºñ(MOCVD)¸¦ ÀÌ¿ëÇØ °¥·ýºñ¼Ò(GaAs) ±âÆÇ À§ ±¤Åë½Å¿ë 1.3§ ÆÄÀå´ë¿ª¿¡¼ È°¿ë °¡´ÉÇÑ Àεãºñ¼Ò/°¥·ýºñ¼Ò(InAs/GaAs) ¾çÀÚÁ¡ ·¹ÀÌÀú ´ÙÀÌ¿Àµå¸¦ °³¹ßÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù°í 8ÀÏ ¹àÇû´Ù.
±âÁ¸ ¾çÀÚÁ¡ ·¹ÀÌÀú ´ÙÀÌ¿Àµå´Â ºÐÀÚ¼±ÁõÂøÀåºñ(MBE)¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¸¸µé¾ú´Ù. ÀÌ Àåºñ´Â ÁõÂø ¼Óµµ°¡ ´À·Á »ý»ê È¿À²ÀÌ ¶³¾îÁö´Â Å¿¿¡ ¾ç»êÀÌ ½±Áö ¾Ê¾Ò´Ù.
ÀÌ¿Í ´Þ¸® ETRI ¿¬±¸ÁøÀÌ °³¹ßÇÑ ¾çÀÚÁ¡ Á¦Á¶ ±â¼úÀº ¾çÀÚÁ¡ÀÇ ¹Ðµµ°¡ ³ô°í, ¸Å¿ì ±ÕÀÏÇÑ ÀåÁ¡À» °¡Á³´Ù. ¹«¾ùº¸´Ù °áÇÔ ¹Ðµµ°¡ ³ôÀº ´ë¸éÀû ±âÆÇÀ» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î °øÁ¤ ½Ã°£ ´ÜÃà ¹× ¼ÒÀç ºñ¿ë Àý°¨ÀÌ ºñ±³Àû ½±°Ô ÀÌ·ïÁú ¼ö ÀÖ´Ù.
°¡·É ±âÁ¸ Åë½Å¿ë ¼ÒÀÚ´Â °í°¡ÀÇ 2ÀÎÄ¡ Å©±âÀÇ ÀεãÀÎ(InP) ±âÆÇÀ» »ç¿ëÇØ Á¦Á¶ ´Ü°¡°¡ ¸Å¿ì ³ôÁö¸¸, ¿¬±¸ÁøÀÌ °³¹ßÇÑ ±â¼úÀº ÀεãÀÎ ±âÆǺ¸´Ù °¡°ÝÀº 1/3 ÀÌÇÏ, ÃÖ´ë 6 ÀÎÄ¡ °¥·ýºñ¼Ò(GaAs) ±âÆÇÀ» »ç¿ëÇØ Åë½Å¿ë ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú Á¦Á¶ºñ¿ëÀ» 1/6 ÀÌÇÏ·Î ³·Ãâ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
¶Ç °³¹ßÇÑ ¾çÀÚÁ¡ ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú´Â ÃÖ´ë 75µµ±îÁö ¿¬¼Ó µ¿ÀÛ, À¯±âÈÇбâ»óÁõÂø¹ýÀÇ °á°ú·Î´Â ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀ̶ó°í ¿¬±¸ÁøÀº °Á¶Çß´Ù.
¿¬±¸ÁøÀº ¿¬±¸ ¼º°ú¸¦ °íµµÈÇÑ ÈÄ °ËÁõÀ» ÅëÇØ ½Å·Ú¼ºÀ» ³ô¿© ±¹³» ±¤Åë½Å ±â¾÷¿¡ ±â¼úÀ» ÀÌÀüÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. ±â¼úÀº ÀÌÀü¹ÞÀº ±â¾÷Àº ETRI Åë½Å¿ë ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸®·Î ÇÙ½É ±â¼ú°ú ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Áö¿ø¹Þ¾Æ Á¦Ç° »ó¿ëÈ ½Ã±â¸¦ ´ÜÃàÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¿¬±¸ ¼º°ú´Â ÇâÈÄ °³¹ß ±â°£°ú »ý»ê ºñ¿ëÀ» Å©°Ô ÁÙ¿© Á¦Ç° °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÓÀ¸·Î½á ÇؿܽÃÀå Á¡À¯À²À» ²ø¾î¿Ã¸®°í, ±¹³» ±¤Åë½Å ºÎÇ° »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀåÀ» ÃËÁøÇÏ´Â µ¥µµ °ßÀÎÂ÷ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
±èÈ£¼º ETRI ±¤Åë½ÅºÎÇ°¿¬±¸½Ç ¹Ú»ç´Â ¡°À̹ø ¿¬±¸ °á°ú´Â »ó¾÷¼º°ú ¿øõ¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸ÇÑ »ç·Ê¡±¶ó¸ç ¡°ÇâÈÄ ±¤Åë½Å¿ë ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú »ê¾÷ÀÇ Æз¯´ÙÀÓÀ» ¹Ù²Ù´Â Àü±â°¡ µÉ Áß¿äÇÑ °á°ú¡±¶ó°í ¼Ò°³Çß´Ù.
´ëÀü=Á¤ÀÏ¿õ ±âÀÚ jiw3061@asiae.co.kr <¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö> |