IDT´Â 5¿ù 15ÀÏ, ¼¿ï ´ëÄ¡µ¿ IDT Çѱ¹Áö»ç »ç¹«½Ç¿¡¼ ±âÀÚ°£´ãȸ¸¦ ¿°í, °í¼º´É ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ ¾÷°è ÃÖÃÊÀÇ ¾ÐÀü MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅ͸¦ Ãâ½ÃÇß´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù. IDT°¡ ¼±º¸ÀÎ Å©¸®½ºÅ»ÇÁ¸®(CrystalFree) ¾ÐÀü MEMS(pMEMS) LVDS/LVPECL ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â ¾÷°è Ç¥ÁØÇü ÆÐÅ°Áö¿¡¼ 1ps ¹Ì¸¸ÀÇ À§»ó ÁöÅÍ·Î µ¿ÀÛÇÏ¸ç ±âÁ¸ 6ÇÉ Å©¸®½ºÅ» ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ(XO)¸¦ È¿°úÀûÀ¸·Î ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
IDT´Â 4M ½Ã¸®Áî °í¼º´É LVDS/LVPECL ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ¿¡ Àû¿ëµÈ ƯÇã ¹ÞÀº Å©¸®½ºÅ»ÇÁ¸® pMEMS °øÁø±â ±â¼úÀ» ÅëÇØ, °ªºñ½Ñ Å©¸®½ºÅ»À» ¼¼ºÎÀûÀ¸·Î Á¶Á¤ÇÏÁö ¾Ê°íµµ ¿øÇÏ´Â Ãâ·Â ÁÖÆļö¸¦ Ãâ°í ½Ã ½Å¼ÓÇÏ°Ô ÇÁ·Î±×·¡¹ÖÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ pMEMS´Â °øÁø ¹ßÁø ÁÖÆļö°¡ ¼®¿µ Å©¸®½ºÅ»º¸´Ù ÈξÀ ³ô¾Æ, ÇÙ½ÉÀû ¼º´É¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖÁö ¾ÊÀ¸¸é¼ º¸´Ù Àú·ÅÇÑ ºñ¿ë¿¡ ´õ ³ôÀº ÁÖÆļö¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
IDTÀÇ 4M ½Ã¸®Áî´Â MEMS ±â¹Ý Æ÷Æ®Æú¸®¿ÀÀÇ Ã¹ ¹ø° Á¦Ç°À¸·Î, °í°´¿¡ Æí¸®ÇÏ°í Á¤È®ÇÑ ÀúÁöÅÍ Å¸ÀÌ¹Ö ·¹ÆÛ·±½º¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù. ÃÖ´ë 625MHz ÁÖÆļö¿¡¼ LVDS/LVPECLÀ» Áö¿øÇÏ¸ç ´ëºÎºÐÀÇ Åë½Å, ³×Æ®¿öÅ· ¹× °í¼º´É ÄÄÇ»Æà ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ Àû¿ëµÇ´Â ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·ÇÑ´Ù. 7050/5032 Ç¥ÁØ Çöó½ºÆ½ ÆÐÅ°Áö·Î Á¦°øµÇ¾î ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÏ°í ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀÇ º¸µå ¸éÀûÀ» ÁÙÀ̸ç, ±âÁ¸ XO ¿Í ÇÉ È£È¯ÀÌ °¡´ÉÇϴٴ Ư¡À» °¡Áø´Ù.
¡ã ÇϹÌÆ® ºÎ±×¶ó IDT ¸Å´Ï¡ µð·ºÅÍ
À̹ø ½ÅÁ¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ¼¼ÇÑ ¼Ò°³´Â IDT ½Ç¸®ÄÜ ÁÖÆļö Á¦¾î »ç¾÷ºÎÀÇ ÇϹÌÆ® ºÎ±×¶ó(Harmeet Bhugra) ¸Å´Ï¡ µð·ºÅÍ°¡ ÁøÇàÇß´Ù. ±×´Â ¸ÕÀú ÀÌ Á¦Ç°ÀÌ, ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ ¾ÐÀü MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ Á¦Ç°À̶ó°í ¼Ò°³Çϸç, IDT´Â 2011³â ¸ÅÃâ 6¾ï 2,500¸¸ ´Þ·¯ Áß 1¾ï 5õ¸¸ ´Þ·¯ ÀÌ»óÀ» ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ÅõÀÚÇÏ¿© »õ·Î¿î ±â¼úÀÇ °³¹ßÀ» À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
ÇöÀç ½Ç¸®ÄÜ Å¸ÀÌ¹Ö µð¹ÙÀ̽º ½ÃÀåÀÇ ±Ô¸ð´Â 12¾ï ´Þ·¯ Á¤µµ·Î Ãß»êµÇ°í ÀÖ°í, ÀÌ ½ÃÀå¿¡¼ IDT´Â 4000Á¾ ÀÌ»óÀÇ Å¸ÀÌ¹Ö µð¹ÙÀ̽º Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù. ¶ÇÇÑ 40¾ï ´Þ·¯ ±Ô¸ð¿¡ ´ÞÇÏ´Â ½ÃÀåÀÎ ÁÖÆļö Á¦¾î ºÎºÐ¿¡µµ ÁøÃâÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÁÖÆļö Á¦¾î Á¦Ç°±º¿¡¼´Â Xpresso, ÆÔÅäŬ·°(FemtoClock) Á¦Ç°±º°ú ÇÔ²² SAW, CMOS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ Á¦Ç°±ºÀ» ¼±º¸ÀÌ°í ÀÖ°í, À̹ø¿¡ MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ Á¦Ç°±ºÀ» ¼±º¸¿© ¡®¿ø½ºÅé ¼îÇΡ¯À» °¡´ÉÇÏ°Ô Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø¿¡ ¼Ò°³µÈ Á¦Ç°Àº ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ °í¼º´É ¾ÐÀü MEMS ¿À½Ç·Î½ºÄÚÇÁ·Î, ps ÀÌÇÏÀÇ ÀúÁöÅÍ Æ¯¼º°ú ÇÔ²² Â÷º°ÈµÈ °íÁÖÆļö Áö¿ø°ú ´õ ÀÛÀº ÆÐŰ¡ Å©±â Á¦°ø µîÀÇ ÀåÁ¡À» Á¦°øÇÑ´Ù. ÁÖÆļö´Â ÃÖ´ë 625MHz±îÁö ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÏ¸ç ¸ðµç »ê¾÷¿ë ¿Âµµ¿¡ ´ëÀÀÇÑ´Ù. ÇöÀç ÀϺΠ¾÷ü¿¡ »ùÇÃÀÌ Á¦°øµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, 2007³â °³¹ß ½ÃÀÛ ÀÌÈÄ 5³â Á¤µµ¸¸¿¡ ù Á¦Ç°À» ¼±º¸ÀÎ °ÍÀ¸·Î, Ãâ¿øµÇ°Å³ª Ãâ¿ø ¿¹Á¤ÀΠƯÇ㸸µµ 40°ÇÀÌ ³Ñ°Ô ÅõÀԵǾú´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù.
¡ã ½Ò¾Ë À§¿¡ ¿Ã¶ó°¥ Á¤µµ·Î ÀÛÀº pMEMS
IDT´Â ÀÚ»çÀÇ pMEMS ±â¼úÀ» ÅëÇØ ¼¼°è¿¡¼ °¡Àå ÀÛÀº WLP °øÁø±â(Resonator)¸¦ ¸¸µé¾î³¾ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù°í ¼Ò°³Çߴµ¥, ÀÌ °øÁø±âÀÇ Å©±â´Â ½Ò¾Ë À§¿¡ ¿Ã¶ó°¥ ¼ö ÀÖÀ» Á¤µµ·Î ÀÛÀº Å©±â´Ù. ¶ÇÇÑ Æнúê ÇüÅÂÀÇ ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ µð¹ÙÀ̽º·Î ±¸Çö °¡´ÉÇØ, º°µµÀÇ ¿ÜºÎ Àü¿øÀÌ ÇÊ¿äÇÏÁö ¾Ê°í, ÃÖ´ë 1GHz ¼öÁرîÁöÀÇ ³×ÀÌƼºê ÁÖÆļö ±¸ÇöÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù.
IDT´Â ½Ã½ºÅÛ µðÀÚÀ̳ʵéÀÌ MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅ͸¦ ¼±È£ÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â ¡®½Å·Úµµ¡¯ ¶§¹®À̶ó°í ¼Ò°³ÇßÀ¸¸ç, pMEMSÀÇ °æ¿ì ÀÛÀº Å©±â ´öºÐ¿¡ ºñ¿ë È¿°úÀûÀÎ ¸éµµ ÀÛ¿ëÇÑ´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ Á¤Áö¸¶ÂûÀ̳ª »ðÀÔ¼Õ½Ç µîÀÇ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù´Â Á¡µµ MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ°¡ ½Ã½ºÅÛ µðÀÚÀ̳ʵ鿡 Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
pMEMS´Â ¾ÐÀüü(Piezoelectric) °øÁø±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿©, Àü±â ½ÅÈ£¿¡ µû¸¥ ¾ÐÀüüÀÇ º¯ÇüÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ÇüÅ´Ù. Àü±ØÀº ¾ÐÀüü ·¹À̾ Á÷Á¢ ¿¬°áµÇ¸ç, Àü±â ½ÅÈ£¿¡ µû¶ó ¾ÐÀüü°¡ º¯ÇüÇÏ´Â °ÍÀ» ÀÌ¿ëÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ÀÇ ÆÐŰ¡ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö´Â °æ¿ì, °Ñ¸ð½ÀÀº ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ´ÙÀ̸¦ ºÎÂøÇÑ ÇüÅ°¡ µÈ´Ù.
¡ã MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â Å©¸®½ºÅ» ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ ´ëºñ Ãß°¡ÀûÀÎ ÀåÁ¡À» Á¦°øÇÑ´Ù.
IDT MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â pMEMS °øÁø±â¸¦ ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ¿¡ Àû¿ëÇÑ °ÍÀ¸·Î, 5032, 7050 Çöó½ºÆ½ ÆÐÅ°Áö·Î Á¦°øµÈ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ¼¼¶ó¹Í ÆÐŰ¡ÀÌ Çöó½ºÆ½ ÆÐŰ¡À¸·Î ¹Ù²î´Â µ¥´Â, ¹ÝµµÃ¼¿Í À¯»çÇÑ °øÁ¤À» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ Àǹ̵µ ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ps ÀÌÇÏÀÇ ³·Àº ÁöÅÍ¿Í ³·Àº ºñ¿ë, ºü¸¥ ¸®µåŸÀÓ, ±âÁ¸ 6ÇÉ ÆÐŰ¡°ú ÇÉ È£È¯ÀÌ °¡´ÉÇÑ Á¡ µîÀÇ ÀåÁ¡À» Áö´Ñ´Ù.
MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â ±âÁ¸ Å©¸®½ºÅ» ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ°¡ Á¦°øÇÏ´Â ¸ðµç Ư¼ºÀ» µ¿µîÇÑ ¼öÁØ ÀÌ»óÀ¸·Î Á¦°øÇϸé¼, Ãß°¡ÀûÀÎ ÀåÁ¡À» Á¦°øÇÑ´Ù. MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â Å©¸®½ºÅ» ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ°¡ Á¦°øÇÏ´Â Á¤È®¼º, ¿Âµµ ´ëÀÀ, ¿¡ÀÌ¡, RMS ÁöÅÍ, ÆÐŰ¡ ÇüÅ µîÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×À» ¸ðµÎ ÃæÁ·Çϸé¼, Ãß°¡ÀûÀ¸·Î Ãæ°Ý°ú Áøµ¿ ȯ°æ¿¡¼ÀÇ ½Å·Ú¼º°ú ¸®µåŸÀÓ, Á¤È®¼º, ³ëÀÌÁî Ư¼º µîÀÇ ÀåÁ¡À» Ãß°¡·Î Á¦°øÇÑ´Ù.
IDT´Â MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅ͸¦ ÅëÇØ, °í°´ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸ »çÇ×À» ´õ ³ôÀº ¼öÁØÀ¸·Î ¸¸Á·½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù°í ¼Ò°³Çß´Ù. IDT´Â MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅ͸¦ ÅëÇØ ´õ ³·Àº ºñ¿ëÀ¸·Î ´õ ³ôÀº ÁÖÆļöÀÇ Áö¿ø, ´õ ÀÛÀº »çÀÌÁî¿Í ³ôÀº ¾ÈÁ¤¼º, ´õ ¸¹Àº ±â´ÉÀÇ ÅëÇÕ µîÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ªÀº ¸®µåŸÀÓÀ» ÅëÇÑ Àç°í ºÎ´ãÀÇ °¨¼Ò, Ķ¸®ºê·¹ÀÌ¼Ç ¿©ºÎ µî¿¡¼ Ãß°¡ÀûÀÎ ÀåÁ¡À» Á¦°øÇÑ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÌ MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â ÁÖ·Î Åë½Å, ÄÁ½´¸Ó, »ê¾÷ ºÎ¹®, ±×¸®°í Ŭ¶ó¿ìµå ÄÄÇ»Æà ȯ°æ µî¿¡¼ È¿°úÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¼Ò°³µÇ¾ú´Ù. Åë½Å ºÎºÐ¿¡¼´Â 10Gb ÀÌ´õ³ÝÀÇ ±¸Çö µî¿¡¼ È¿°úÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, »ê¾÷ ºÎºÐ¿¡¼´Â ³ÐÀº »ç¿ë ¿Âµµ¿Í ½Å·Ú¼º, ºñ¿ë °æÀï·Â Ãø¸é¿¡¼ ±âÁ¸ÀÇ Å©¸®½ºÅ» ¿À½Ç·¹ÀÌÅ͸¦ È¿°úÀûÀ¸·Î ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ¶ó ¼³¸íÇß´Ù.
¡ã MEMS ¿À½Ç·¹ÀÌÅÍ´Â ¼ÒÇüÈ¿¡ ÀÖ¾î ÈξÀ À¯¸®ÇÏ´Ù.
|