Ú¸°¡ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâ ¸·¾Ò´Âµ¥µµ ñé, ±âÁ¸ Àåºñ·Î 7³ª³ë °øÁ¤ ¼º°ø ¡°¿¹»ó ³Ñ´Â ¹ßÀü¡±¡¦ SMIC ÁÖ°¡ ±Þµî ¡°ÇÑÁ¤ ÆǸš¦ ´ë·®»ý»ê Àǹ®¡± ÁöÀûµµ ±¹³»¾÷°è ¡°ùÛ°ú ±â¼ú °ÝÂ÷ ¾ÆÁ÷ Ä¿¡± ¶â¾îºÃ´õ´Ï ÁøÂ¥ 7nm(³ª³ë¹ÌÅÍ¡¤1nm´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼¼°¡ ÀÖ¾ú´Ù.¡± ±Û·Î¹ú ±â¼ú ºÐ¼®¾÷ü Å×Å©ÀλçÀÌÃ÷°¡ 4ÀÏ(ÇöÁö ½Ã°£) ¹Ì±¹ ºí·ë¹ö±×Åë½Å ÀÇ·Ú¸¦ ¹Þ¾Æ ¼¼°è À̸ñÀÌ ÁýÁßµÈ Áß±¹ È¿þÀÌÀÇ »õ ½º¸¶Æ®Æù ¡®¸ÞÀÌÆ® 60¡¯À» ºÐÇØÇÑ °á°ú ÀÚü »ý»êÇÑ 7³ª³ë °øÁ¤ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ÇÁ·Î¼¼¼(AP)°¡ µé¾î ÀÖ¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ AP°¡ Áß±¹ ÃÖ´ë ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ±â¾÷ SMICÀÇ 2¼¼´ë 7³ª³ë Ĩ ¡®±â¸° 9000s¡¯¶ó°í È®ÀÎÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
7³ª³ë °øÁ¤Àº ¼¼°è 1, 2À§ ÆÄ¿îµå¸® ±â¾÷ TSMC¿Í »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¾ç»ê °æÀï ÁßÀÎ 3³ª³ë °øÁ¤¿¡ 5³â ÀÌ»ó µÚóÁø ±â¼úÀÌ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ Àåºñ µî ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀåºñ ¼öÀÔÀÌ Á¦ÇѵÆÀ½¿¡µµ ¾î´À Á¤µµ ¾ç»ê(Õáߧ)¿¡ ¼º°øÇß´Ù´Â ¶æÀÌ¾î¼ ¹Ì±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ½ÇÈ¿¼º¿¡ ÀDZ¸½ÉÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ ÃæºÐÇÑ ¾ç»êÀÌ °¡´ÉÇÑÁö, ºñ¿ë È¿À²¼ºÀº °®Ãè´ÂÁö µî¿¡ ´ëÇؼ´Â ÀÇ°ßÀÌ ¾ù°¥¸°´Ù. È¿þÀÌ´Â Áö³ª ·¯¸óµµ ¹Ì »ó¹«Àå°üÀÇ Áß±¹ ¹æ¹® ±â°£ÀÎ Áö³´Þ 29ÀÏ ÀÚ»ç ¿Â¶óÀθô¿¡¼ ½ÅÁ¦Ç° ¡®¸ÞÀÌÆ® 60¡¯ ÇÑÁ¤ ¼ö·® ÆǸŸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù. ½º¸¶Æ®ÆùÀÇ µÎ³ú °ÝÀÎ AP »ç¾çµµ ¹àÈ÷Áö ¾Ê°í Á¶¿ëÈ÷ ÆǸſ¡ µé¾î°£ °ÍÀÌ´Ù. È¿þÀÌ´Â ÇÑÁ¤ ÆǸŠ¹°·®ÀÌ ¸ðµÎ ÆÈ·È´Ù°í ¹àÇû´Ù. Áß±¹ °ü¿µ ¸Åü´Â ¡°¹Ì±¹¿¡ ´ëÇÑ ½Â¸®¡±¶ó¸ç Ä¡ÄѼ¼¿ü´Ù.
È¿þÀÌ¿Í SMIC ¸ðµÎ ¹Ì±¹ Á¦Àç ´ë»ó ±â¾÷ÀÌ´Ù. ÇѶ§ ¼¼°è 1À§ Åë½ÅÀåºñ ±â¾÷ÀÌÀÚ ½º¸¶Æ®Æù ½ÃÀå¿¡¼ »ï¼ºÀ» Ãß°ÝÇÏ´ø È¿þÀÌ´Â 2020³â µµ³Îµå Æ®·³ÇÁ ¹Ì ÇàÁ¤ºÎÀÇ Á¦Àç·Î ÷´Ü ³ª³ë °øÁ¤ÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â 5G Áö¿ø AP¸¦ »ì ¼ö ÀÖ´Â ±æÀÌ ²÷°å´Ù.
Áö³ÇØ Áß±¹ÀÇ 14³ª³ë ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼ °³¹ßÀ» ¸·±â À§ÇÑ ¹Ì±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ ³×´ú¶õµå°¡ µ¿ÂüÇÏ¸é¼ ³×´ú¶õµå Àåºñ ¾÷üÀÎ ASMLÀº EUV ³ë±¤ Àåºñ¿¡ À̾î ÀÌ´Þ 1ÀϺÎÅÍ À̺¸´Ù ³·Àº ´Ü°èÀÎ ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤ ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâµµ ±ÝÁöÇß´Ù. Å×Å©ÀλçÀÌÃ÷ ºÐ¼®´ë·Î¶ó¸é SMIC´Â º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´ø DUV·Î 7³ª³ë °øÁ¤¿¡ ¼º°øÇÑ °ÍÀÌ´Ù. Áö³ÇØ ºñÆ®ÄÚÀΠä±¼±â¿¡ ¾²ÀÌ´ø SMIC 1¼¼´ë 7³ª³ë Ĩ°ú ´Þ¸® À̹ø 2¼¼´ë 7³ª³ë °øÁ¤Àº ¾ç»ê üÁ¦¸¦ ÀÏÁ¤ Á¤µµ °®Ãá °ÍÀ¸·Î º¸Àδٰí Å×Å©ÀλçÀÌÃ÷´Â ºÐ¼®Çß´Ù.
- Ú¸±ÔÁ¦¿¡µµ ñéÈ¿þÀÌÆù ¡®7³ª³ëĨ ±â¼úÀÚ¸³¡¯¡¦ ¡°Ú¸ ÇÑ¹æ ¸Ô¿´´Ù¡±
- ¡°¶â¾îºÃ´õ´Ï ÁøÂ¥ 7nm(³ª³ë¹ÌÅÍ¡¤1nm´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼¼°¡ ÀÖ¾ú´Ù.¡± ±Û·Î¹ú ±â¼ú ºÐ¼®¾÷ü Å×Å©ÀλçÀÌÃ÷°¡ 4ÀÏ(ÇöÁö ½Ã°£) ¹Ì±¹ ºí·ë¹ö±×Åë½Å ÀÇ·Ú¸¦ ¹Þ¾Æ ¼¼°è À̸ñÀÌ ÁýÁßµÈ Áß±¹ È¿þÀÌÀÇ »õ ½º¸¶Æ®
https://n.news.naver.com/article/020/0003518993?sid=104 |